




北京科儀真空技術有限公司是國內新興的一家專業(yè)從事真空領域的高新技術企業(yè)。
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。氦氣檢漏儀氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((HeliumMassSpectrometerLeakDetector)的俗稱,運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
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氦質譜檢漏儀的原理
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
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氦質譜檢漏用氦氣的選擇
氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質量為3.65×10-27kg,在標準狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點為4.214K,熔點為0.9K,三相點溫度為2.186K,三相點壓力為51.1×10-2Pa,在標準狀態(tài)下的熱導率為510.79J/(m·h·K),在標準狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標準狀態(tài)下的動力粘度系數為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標準狀態(tài)下的氦氣體積為700L。氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性:①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5。
國家標準規(guī)定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業(yè)用氦、純氦、高純氦三種。
1、工業(yè)用氦:氦含量≥99%,露1點≤43℃.
2、純氦分三級:優(yōu)等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
3、高純氦分為三級:優(yōu)等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。
氦氣在氦質譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用氦,即氦含量≥99%,露1點≤43℃。
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